机译:用于高灵敏度生物传感器应用的基于ZnO的薄膜体声谐振器
机译:多功能基于ZnO的生物传感器薄膜体声谐振器
机译:用于湿度传感器应用的轮廓模式ZnO基薄膜堆积声波谐振器
机译:电偏压和o°} 2含量对ZnO薄膜堆积散谐谐振器的ZnO膜性能和辐射化的影响
机译:物理传感应用集成电路上的薄膜体声谐振器
机译:带有振荡电路的灵敏度增强型薄膜体声谐振气体传感器及其检测应用
机译:用于高灵敏度生物传感器应用的基于ZnO的薄膜体声谐振器
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)